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多功能真空实验仪
实验仪是一个真空实验平台，能够很直观反映真空获得的过程。由真空获得部分、真空镀膜机构和电控及仪表等部分组成，结构合理，运行，适合于对学生开展真空实验教学。
1、真空的获得与测量；
2、蒸发法薄膜制备；
主要特点：
1 设备的真空反应室、油扩散泵、真空管路部件透明；
2 电气控制有*护，*止误操作对操作人员和设备造成的损伤；
3 管路采用不锈钢、真空橡胶管结合，阀门为电控双向截止阀，真空室内有烘烤除气设备；
4 一机多用的功能，针对高校开展综合性、设计性和开放性实验的要求，预留有大空间的真空室，在配置一些组件后，就能方便开设其他扩展实验项目。
主要参数：
1、φ230mm×255mm硬质玻璃真空室；
2、采用机械泵、四玻璃质油扩散泵两真空系统，扩散泵油量125～140ml，带水冷；
3、真空度：开机60分钟后可达6×10-3Pa，限真空度：9.6×10-4Pa；恢复真空时间＜40分钟；
4、采用一对*氧铜电蒸发电，电间距70mm，可选用钨丝或钼舟作蒸发源，蒸发电流调节范围：0~150A；
5、衬底可加热。衬底加热温度范围：室温~200℃；
6、工作电压：AC220V±5%，50Hz，整机功率3.5KW；
7、工作环境要求：温度低于30℃，湿度≤70%；冷却水温度22℃±3℃，水循环用户自备。
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