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薄膜方块电阻测试仪
薄膜方块电阻测试仪主要用来测量硅外延层、扩散层和离子注入层、导电玻璃（ITO）和其它导电薄膜的方块电阻。它由电气测量部份（简称：主机）、测试架、四探针头及**测量软件组成
使用范围
适用于西门子法、硅烷法等，生产**多晶硅料的企业
适用于物理提*生产多晶硅料生产企业
适用于光伏拉晶铸锭及 IC 半导体器件企业
适用于科研部门、高等院校及需要**量程测量电阻率的企业
产品特点
可测方块电阻：适合检测硅芯，检磷棒，检硼棒，籽晶等圆柱晶体硅
适用于西门子法、硅烷法等，生产**多晶硅料的企业
适用于物理提*生产多晶硅料生产企业
适用于光伏拉晶铸锭及 IC 半导体器件企业
适用于科研部门、高等院校及需要**量程测量电阻率的企业
测试量程大，**电阻率测试仪
主机配置了“小游移四探针头”，了一起数据的准确性
仪器消除了珀尔帖效应、塞贝克效应、少子注入效应等负效应的影响，因此测试精度**提高
测量精度高，除了具有厚度修正功能外、还有温度修正、圆片直径修正等功能
*特的设计能**消除测量引线和接触电阻产生的误差，   ***测量的高精度和，宽的量程范围
双数字表结构使测量*，，操作*简便
具有**的测试数据查询及打印功能
测量系统可实现自动换向测量、求平均值、，值、，值、平均百分变化率等
四探针头采用进口红宝石轴套导向结构，使探针的游移率减小，测量重复性**提高
采用进口元器件，留有*大的，系数，**提高了测试仪的，性和使用寿命
测量电流采用高度稳定的**恒流源（**之五精度），不受气候条件的影响
具有正测反测的功能，，测试结果的准确性
具有抗强磁场和抗高频设备的性能
测量范围
10-5 ------1.9*105  Ω?cm
10-4------1.9*104  Ω?cm
可测硅棒尺寸： ，长度300mm；直径20mm（**按用户要求*改）
输出电流：DC0.001-100mA  五档连续可调   测量范围：0-199.99mV
灵 敏 度： 10μA
输入阻抗：1000ΩM
电阻测量误差：各档均低于±0.05%
供电电源：AC 220V ±10% 50/60Hz.
推荐使用环境：温度：23±2℃   相对温度：≤65%
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