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自动椭圆偏振测厚仪文章
仪器采用消光法自动测量薄膜厚度和折射率，具有精度高、灵敏度高以及自动控制等特点。光源采用氦氖激光器，功率稳定波长精度高。
仪器采用USB接口与电脑连接，配套软件功能齐，，具有多样数据采集及处理方式，适用于不同用户的需要。
，指标：
测量范围：薄膜厚度范围1nm-4000nm;折射率范围：1-10
测量，示值：≤1nm
入 射 角：20°- 90°精度≤0.05°
偏振器方位角范围：0°- 180°
度盘刻度：每格1度
偏振器步进角：0.014°/步
仪器测量精度：±0.5nm（薄膜厚度在10-100nm时）
测量膜厚和折射率重复性精度分别为：0.5nm和0.005
光学中心高度：80mm
允许样品尺寸：φ10-φ140mm，厚度≤16mm
外形尺寸：680*390*310mm
主机重量：26kg
仪器成套性：
主机、电控系统、USB接口、配套软件（需配计算机）。
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