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薄膜方块电阻测试仪原理
薄膜方块电阻测试仪主要用来测量硅外延层、扩散层和离子注入层、导电玻璃（ITO）和其它导电薄膜的方块电阻。它由电气测量部份（简称：主机）、测试架、四探针头及测量软件组成
测量范围
10-5 ------1.9*105  Ω?cm
10-4------1.9*104  Ω?cm
可测硅棒尺寸： ，长度300mm；直径20mm（**按用户要求%改）
输出电流：DC0.001-100mA  五档连续可调   测量范围：0-199.99mV
灵 敏 度： 10μA
输入阻抗：1000ΩM
电阻测量误差：%档均低于±0.05%
供电电源：AC 220V ±10% 50/60Hz.
使用环境：温度：23±2℃   相对温度：≤65%
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