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电阻/电磁检测仪
GDS/KDY-1四探针电阻率/方阻测试仪(灵敏度:10μV)/
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产品名称:
GDS/KDY-1四探针电阻率/方阻测试仪(灵敏度:10μV)/
产品型号:
GDS/KDY-1
产品展商:
ghitest
产品文档:
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简单介绍
严格按照硅片电阻率测量的标准(ASTM F84)及标准设计制造,并针对目前常用的四探针电阻率测试仪存在的问题加以改进是用来测量半导体材料(主要是硅单晶、锗单晶、硅片)电阻率,以及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶方块电阻的测量仪器。它主要由电气测量部份(简称:主机)、测试架及四探针头组成。
GDS/KDY-1四探针电阻率/方阻测试仪(灵敏度:10μV)/
的详细介绍
严格按照硅片电阻率测量的标准(ASTM F84)及标准设计制造,并针对目前常用的四探针电阻率测试仪存在的问题加以改进
是用来测量半导体材料(主要是硅单晶、锗单晶、硅片)电阻率,以及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶方块电阻的测量仪器。它主要由电气测量部份(简称:主机)、测试架及四探针头组成。
本仪器的特点是主机配置双数字表,在测量电阻率的同时,另一块数字表(以**之几的精度)适时监测程的电流变化,免除了测量电流/测量电阻率的转换,*及时掌控测量电流。主机还提供精度为0.05%的恒流源,使测量电流高度稳定。本机配有恒流源开关,在测量某些箔层材料时,可免除探针尖与被测材料之间接触火花的发生,*好地保护箔膜。仪器配置了本公司的产品:“小游移四探针头”,探针游移率在0.1~0.2%。了仪器测量电阻率的重复性和准确度。本机如加配HQ-710E数据处理器,测量硅片时可自动进行厚度、直径、探针间距的修正,并计算、打印出硅片电阻率、径向电阻率的百分变化、平均百分变化、径向电阻率不均习庋。给测量带来很大方便。
2、主机能数
(1)测量范围:
可测电阻率:0.0001~19.9999cm
可测方块电阻:0.0001~1000Ωcm
(2)恒流源:
输出电流:DC 0.001~100mA 五档连续可调
量程:0.001~0.01mA
0.01~0.10mA
0.10~1.0mA
1.0~10mA
10~100mA
恒流精度:各档均低于±0.05%
(3)直流数字电压表:
测量范围:0~19.999mV
灵敏度:1μV
基本误差:±(0.004%读数+0.01%满度)
输出电源:≥1000ΩM
(4)供电电源:
AC 220V±10% 50/60 Hz 功率:12W
(5)使用环境:
温度:23±2℃ 相对湿度:≤65%
*较强的电场干扰,*强光直接照射
(6)重量、体积:
主机重量:7.5kg
体积:365×380×160(单位:mm 长度×宽度×高度)
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