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ZH10669自动椭圆偏振测厚仪

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产品名称: ZH10669自动椭圆偏振测厚仪
产品型号: ZH10669
产品展商: ghitest
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简单介绍

仪器采用消光法自动测量薄膜厚度和折射率,具有精度高、灵敏度高以及自动控制等特点。光源采用氦氖激光器,功率稳定波长精度高。 仪器采用USB接口与电脑连接,配套软件功能齐,具有多样数据采集及处理方式,适用于不同用户的需要。


ZH10669自动椭圆偏振测厚仪  的详细介绍
产品简介:
仪器采用消光法自动测量薄膜厚度和折射率,具有精度高、灵敏度高以及自动控制等特点。光源采用氦氖激光器,功率稳定波长精度高。
仪器采用USB接口与电脑连接,配套软件功能齐,具有多样数据采集及处理方式,适用于不同用户的需要。
指标:
测量范围:薄膜厚度范围1nm-4000nm;折射率范围:1-10
测量示值:≤1nm
入 射 角:20°- 90°精度≤0.05°
偏振器方位角范围:0°- 180°
度盘刻度:每格1度
偏振器步进角:0.014°/步
仪器测量精度:±0.5nm(薄膜厚度在10-100nm时)
测量膜厚和折射率重复性精度分别为:0.5nm和0.005
光学中心高度:80mm
允许样品尺寸:φ10-φ140mm,厚度≤16mm
外形尺寸:680*390*310mm
主机重量:26kg
仪器成套性:
主机、电控系统、USB接口、配套软件(需配计算机)。
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