NGZL-203型四质谱计_四杆质谱仪

四杆质谱仪功能介绍：

四质谱计是在高真空条件下，离子源的电子轰击气体分子使其离化。离子进入四过滤器按不同质荷比分离，采集离子流，放大后进行数据处理，获得相应的质谱数据。四质谱计可安装在使用者的高真空设备上进行残气分析，亦可配备适当的高真空系统和进样装置作为*立的分析仪器使用。离子流采集的常规结构为法拉弟筒 / 通道倍增器复合式（即 FC/CEM ）。离子流放大器的输入高阻设为10M Ω ，1G Ω，100G Ω 三挡，采用电子倍增器方式时一般选用 1G Ω高阻或 10M Ω高阻。仪器控制与数据处理系统适用于WindowsXP或 Windows2000，仪器提供模拟谱图，棒状谱图和多达10个离子的多离子监测谱图。数据系统的接口界面由80C 196单片机（16位）以及 A/D、D/A 等构成， RS232 串口与电脑通讯实现仪器的控制与数据处理。仪器安装方便，操作简单，四质谱计**应用与真空科学、电子、半导体工业、石油化工的催化研究等多种领域。另外，本仪器可以派生为仪器，如，已用于计量部门作为鉴定分子漏孔的氦四质谱计。

四杆质谱仪指标：

范围：1-100u，1-200u，1-300u

灵敏度：1×10^-1A/Pa (对 N--2 ，带CEM)

分辨率：△m＜1（ 10% 谷）

峰位稳定性： ±0.4u/4h

扫描速度： 100ms-30s/u

检测器： FC，FC/CEM，或FC/MCP（FC-法拉弟筒， CEM 通道倍增器MCP-微通道板）

工作压强：1×10^-2Pa

烘烤温度：300 ℃

接口法兰： CF50，CF63

电子单元尺寸：240×150×150mm

四探头伸入真空腔尺寸：

1-100u：φ 70X180mm

1-300u：φ 70X250mm