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ZH9392型功能薄膜特性测试仪

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产品名称: ZH9392型功能薄膜特性测试仪
产品型号: ZH9392型
产品展商: ghitest
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简单介绍

本测试仪是多用途综合测量装置,开展半导体材料的电阻性能的测试。由四探针测试仪和非晶硅薄膜电导率测量仪组成。四探针测试仪由主机、测试架等部分组成,测试结果由数字表头直接显示。主机主要由高灵敏度直流数字电压表和高稳定度


ZH9392型功能薄膜特性测试仪  的详细介绍
产品简介
本测试仪是多用途综合测量装置,开展半导体材料的电阻性能的测试。由四探针测试仪和非晶硅薄膜电导率测量仪组成。四探针测试仪由主机、测试架等部分组成,测试结果由数字表头直接显示。主机主要由高灵敏度直流数字电压表和高稳定度
恒流源组成。非晶硅薄膜电导率测量仪由样品室、温控系统、真空系统、高阻测量系统等部分组成。
测量范围:
电阻范围:1×106~1×1017Ω;
电 阻 率:0.001~200Ωcm
电 导 率:0.005~1000s/cm
可测晶片直径: 200mmX200mm
探    针:碳化钨或高速钢
探针间距:1±0.01mm
针间绝缘电阻:≥1000MΩ
机械游移率:≤0.3%
本底真空度:≤10Pa
气压可控范围:10~400Pa
衬底加热 温度:室温~200℃
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